據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻氣行業上市公司股票有：

凱美特氣：

5月20日資金凈流出4026.78萬元，超大單凈流出1407.24萬元，換手率23.22%，成交金額16.11億元。

凱美特氣2025年第一季度公司總營收1.63億，毛利率36.38%，每股收益0.05元。

晶盛機電：

5月20日消息，資金凈流入464.52萬元，超大單凈流入579.94萬元，成交金額2.88億元。

2025年第一季度季報顯示，公司實現總營收31.38億， 毛利率27.57%，每股收益0.44元。

泛亞微透：

資金流向數據方面，5月20日主力資金凈流流出400.69萬元，超大單資金凈流出605.56萬元，大單資金凈流入204.87萬元，散戶資金凈流入84.22萬元。

2025年第一季度季報顯示，泛亞微透實現總營收1.31億元， 毛利率48.48%，每股收益0.34元。

數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。股市有風險，投資需謹慎。