據南方財富網概念查詢工具數據顯示，半導體清洗設備上市龍頭企業：

芯源微（688037）：龍頭。3月28日消息，芯源微開盤報價97.84元，收盤于96.860元。3日內股價下跌0.41%，總市值為194.66億元。

2023年凈利潤2.51億，同比增長25.21%。

北方華創（002371）：龍頭。截至3月28日15時，北方華創(002371)報415.900元，跌3.37%，當日最高價為431.6元，換手率1.34%，PE（市盈率）為56.49，成交額29.83億元。

2023年北方華創凈利潤38.99億，同比增長65.73%。

藍英裝備（300293）：龍頭。3月28日下午三點收盤截止，藍英裝備(股票代碼:300293)的股價報23.820元，較上一個交易日跌0.75%。當日換手率為6.67%，成交量達到1870.9萬手，成交額總計為4.6億元。

2023年藍英裝備凈利潤-2098.11萬，同比增長61.5%。

半導體清洗設備概念股其他的還有：

飛鹿股份：飛鹿股份（300665）10日內股價下跌10.84%，最新報6.550元/股，跌3.11%，今年來漲幅上漲5.34%。

萬業企業：3月28日消息，萬業企業截至下午三點收盤，該股報14.880元，漲0.81%，3日內股價上漲1.61%，總市值為138.48億元。

至正股份：3月28日消息，至正股份下午三點收盤報53.900元，跌1.12%，總市值為40.17億元，換手率1.21%，10日內股價下跌14.6%。

數據僅參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。