2024年第二季度，光刻機上市公司管理費用排行榜中，上海電氣（601727）的管理費用總額高達33.82億，北方華創(chuàng)（002371）和大族激光（002008）分別位居第二和第三，海立股份（600619）、三安光電（600703）、東方明珠（600637）、華潤微（688396）、永太科技（002326）、新宙邦（300037）、圣泉集團（605589）分別進入前十，其管理費用總額分別排名第4-10名。
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