據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機股票龍頭有：

海立股份600619：國產光刻機龍頭股

截至15點，海立股份漲0.45%，股價報11.200元，成交1183.82萬股，成交金額1.33億元，換手率1.5%，最新A股總市值達120.21億元，A股流通市值88.39億元。

2025-06-03該股主力凈入-5285130元，其中資金流入方面：超大單凈入11017500元，大單凈入39344800元，中單凈入57160100元，散戶凈入73080300元；資金流出方面：超大單凈出14773800元，大單凈出40873700元，中單凈出66773900元，散戶凈出58181400元。

茂萊光學688502：國產光刻機龍頭股

5月30日收盤消息，茂萊光學最新報244.100元，成交量45.85萬手，總市值為128.88億元。

6月3日消息，資金凈流入203.07萬元，超大單資金凈流出856.58萬元，成交金額1.12億元。

蘇大維格300331：國產光刻機龍頭股

6月4日收盤最新消息，蘇大維格昨收20.59元，截至下午三點收盤，該股漲1.21%報20.850元 。

6月3日消息，蘇大維格資金凈流入47.5萬元，超大單資金凈流入18.85萬元，換手率2.3%，成交金額9856.18萬元。

國產光刻機概念股其他的還有：

華懋科技：近5個交易日，總市值下跌了0。

彤程新材：近5日股價下跌3.56%，2025年股價下跌-8.3%。

清溢光電：回顧近5個交易日，清溢光電有3天上漲。期間整體上漲0.79%，最高價為25.66元，最低價為25.08元，總成交量891.43萬手。

數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，股市有風險，投資需謹慎，據此操作，風險自擔。